有機廢氣處理中的有害物質有碳氫化合物（烴、芳烴、稠環芳烴等）、含氧有機物（醛、酮、酚等）、含 氮有機物（芳香胺類化合物、腈等）、含硫有機物（硫醇、噻吩、二硫化碳等）、含氣有機物（氣代 烴、氯醇、有機氯農藥等）等。
  直接從污染源排出的污染物稱為一次污染物，一次污染物與空氣中原有成分或幾種污染 物之間發生一系列化學或光化學反應而生成的與一次污染物性質不同的新污染物，稱為二次污染物。在大氣污染中受到普遍重視的二次污染物主要有硫酸煙霧（sulfurous smog)、光化學 煙霧（photochemical smog)和酸雨（pH〈5. 6的大氣降水）。
  硫酸煙霧是空氣中的二氧化硫等含硫化合物在有霧、重金屬飄塵或氮氧化物存在時，發 生一系列化學反應而生成的硫酸霧和硫酸鹽氣溶膠。光化學煙霧則是在太陽光照射下空氣 中的氮氧化物、碳氫化合物和氧化劑之間發生一系列光化學反應而生成的淡藍色煙霧。其主 要成分是臭氧、過氧乙酰基硝酸酯（PAN)、醛類及酮類等。大量SO2和NO..排人大氣后進一步氧化，被大氣降水吸收成為酸性降雨返回地面，稱 為酸雨。酸雨目前已經釀成國際公害。有一些氣體，例如CO2、氟氯烴類等，過去并不視為大氣污染物加以控制，近年的研究發 現，它們在全球氣候變化中產生重大影響，氟氯烴類氣體破壞臭氧層，過多的CO2則使大氣 溫度升高，因此現在也作為大氣污染物限制排放。
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